微纳伺服控制系统设计方法及工程应用实例

学术报告：微纳伺服控制系统设计方法及工程应用实例

报告时间：2023年6月4日 09：15-10：30

报告地点：绣山工程楼208会议室

报告简介：超精密微纳伺服系统是集成电路制造及电子信息装备等高端制造领域的关键环节，对我芯片产业、高端精密仪器以及宇航工程等战略工业意义巨大。报告将介绍团队近期在高动态高精度纳米伺服方法和关键技术方面的研究进展，并重点介绍相关技术在纳米科学仪器、卫星遥感探测系统和国家光源工程纳米探针线站等领域中的应用实例。

主讲人简介：闫鹏，国家万人计划科技领军人才，山东大学机械工程学院教授，博士生导师，机械电子工程学科带头人，机械电子工程研究所所长，微纳测控技术与智能精密仪器研究中心主任。兼任国家标准委员会SAC/TC240委员，IEEE/ASME Transactions on Mechatronics、Mechanical Sciences等国际期刊编委。长期从事纳米定位与纳米扫描、纳米运动控制技术及纳米精密装备，超精密机电系统设计与控制研究。近年来主持国家自然基金仪器专项，科技部重大科学仪器开发专项课题，山东省自然基金重大基础研究计划、山东省重大创新工程项目等重点/重大类课题和国家级人才项目等各类研究项目3000余万元，相关成果应用于集成电路制造装备、国家大科学装置等国家科技战略领域。